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过氧化氢等离子体灭菌特点是，低温无害，灭菌完成后没有残留物，立即可以使用。
由于它具有：
①对人及环境都十分安全；
②灭菌时间短，且可不必进行通风，被灭菌物取出后立即可以使用；
③灭菌温度只有55℃，湿度只有10%RH，是真正的低温、低湿；
④仅需要电源，全部灭菌程序自动化，操作简单；
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